申請(專利)號:CN200510093367.3申請日:2005.08.26
公開(公告)號:CN1921157公開(公告)日:2007.02.28
主分類號:H01L33/00(2006.01)范疇分類:
分類號:H01L33/00(2006.01)
優(yōu)先權(quán):
申請(專利權(quán))人:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
地址:100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號
國省代碼:北京;11
發(fā)明(設(shè)計)人:康亭亭;劉祥林
國際申請:
國際公布:
進入國家日期:
專利代理機構(gòu):中科專利商標代理有限責(zé)任公司
代理人:段成云
分案申請?zhí)枺?br />
頒證日:
摘要:
本發(fā)明涉及發(fā)光二極管技術(shù)領(lǐng)域的一種深紫外發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)利用了等離激元效應(yīng),表面等離激元是光場在導(dǎo)體表面與載流子相互耦合形成的振蕩波,表面等離激元的激發(fā)、耦合是通過具有周期性結(jié)構(gòu)的金屬薄膜來實現(xiàn)的,同時該金屬薄膜又具有電極接觸的功能。其基本結(jié)構(gòu)是將一般MIS發(fā)光二極管的金屬部分采用具有可以產(chǎn)生表面等離激元的周期性結(jié)構(gòu)的。
主權(quán)項:
一種深紫外發(fā)光二極管,其特征在于:利用等離激元效應(yīng)來提高光發(fā)射的量子效率的MIS紫外發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),表面等離激元是光場在導(dǎo)體表面與載流子相互耦合形成的振蕩波,表面等離激元的激發(fā)、耦合是通過具有周期性結(jié)構(gòu)的金屬薄膜來實現(xiàn)的,同時該金屬薄膜又具有電極接觸的功能。
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